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3D机器视觉在半导体行业的应用

3D机器视觉在半导体行业的应用

机器视觉技术是实现设备精密控制、智能化、自动化的有效途径和实现计算机集成制造的基础性技术之一,目前已经广泛应用于3C电子、汽车制造、机器人与工厂自动化、触摸屏、食品饮料、制药、半导体、激光加工、消费电子产品加工、物流、太阳能等行业,极大地改善了生产线工艺水平,提升产品的质量和成品率,是现代工业的核心技术之一。

 

 

半导体行业作为工业机器视觉应用最早的领域,其发展已较为成熟,这除了和半导体行业迭代升级快速,其高端市场基本被海外厂商占据有关外,与半导体器件精度要求高,人工检测无法达到也有密不可分的关系。如半导体的外观缺陷、尺寸、数量、平整度、距离、定位、校准、焊点质量、弯曲度等检测,尤其芯片制作中的检测、定位、切割和封装都需要工业机器视觉来主导。以切割为例,要求定位迅速准确。如果定位出错,整个芯片就会报废。整个切割过程也需要机器视觉系统进行全程定位引导。切割完成后则由机器视觉识别出非缺陷产品进入贴片流程。

 

 

 

之所以说是主导,即使是传统的半导体封测设备,精度普遍要达到微米到亚微米之间,速度大约在每秒40~50平方厘米,误报率5%~10%,2D机器视觉已完全被3D取代,更何况人眼。 先进封装更因小尺寸、轻薄化、高引脚、高速度,大幅缩减芯片尺寸。

 

 

明测科技着力于研究基于机器视觉的半导体封装外观检测系统,该系统能够有效提高半导体封装芯片的检测精度与检测效率,目前已投入商用,除了可以运用在晶圆表面缺陷检 测、bump检测等方面外,还能够检测切割后晶圆的表面缺陷,也可以检测封装后产品在引线、电镀等方面的缺陷。

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